三坐標測量機的21項幾何誤差

通常將三坐標測量機的幾何參數(shù)誤差按其在各運動自由度方向作用分類，分為3項位置度、6項直線度、9項角擺誤差、以及3軸相互之間的3項垂直度，共21項參數(shù)誤差。
21項誤差是三坐標的基本幾何誤差，為了保證其滿足示值誤差及探測誤差的要求，三坐標廠家都要測量和控制這21項誤差，必要時進行補償。
21項誤差的測量可以使用不同的測量儀器進行檢測以便于修正，包括雙頻激光干涉儀、電子水平儀、直角尺、高精度電感測微儀，但是，需要注意的是，使用上述儀器測量參數(shù)誤差時，測量結(jié)果可能是幾種參數(shù)誤差的綜合結(jié)果。

這21項中有：
    1） X、Y、Z三個方向的位置度；
    2）沿X、Y、Z三個方向運動時的六個直線（3X2）；
    3）沿X、Y、Z三個方向運動時自轉(zhuǎn)、俯仰、方向九個角擺；
    4）X、Y、Z各軸間三個垂直度；
    對水平臂測量機則為24項誤差，即加上水平臂伸出時的下垂量誤差。

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